EPMA-8050G电子探针微量分析仪

首次亮相的大EPMA与尖端FE电子光学系统,最高先进岛津EPMA分析性能欧宝娱乐去哪里下载

EPMA-8050G电子探针微量分析仪

该仪器配备了尖端Fe电子光学系统,在所有光束电流条件下提供前所未有的空间分辨率,从SEM观察条件下达1μA级。与高性能X射线光谱仪集成,即Shimadzu通过公司的传统促进了分析性能的最终进展。欧宝娱乐去哪里下载

特性

前所未有的空间分辨率

该系统在用于分析的光束电流条件下提供二次电子图像分辨率的终极。(具有10kV加速电压,在1μA的100nA / 150nm处为10nm / 50nm的20nm)。与传统的电子枪(CEB6,钨)相比,结果非常明显。可以通过与传统的电子枪进行显着更大的光束电流来获得相同的分辨率图像,因此可以执行极高的灵敏度X射线分析。进一步的兴趣点是SEM成像,具有1μA光束电流。只有EPMA-8050G提供至少1μA的光束电流,而且,将光束精细聚焦到这一点。

电子枪束流特性(10kv加速电压)比较

电子枪束流特性(10kv加速电压)比较

金颗粒在碳上沉积的样品观察

最高的二次电子图像分辨率为3 nm

这是对碳金颗粒沉积的样本观察。实现了3nm(30kV)的最大分辨率。即使在比较大的光束电流下也聚焦光束,因此容易获得平滑的高分辨率SEM图像。

大梁电流使超高敏感性分析

在FE型SEM和EPMA中,该系统独特的大束流(30kv加速电压下可达3 μA)极大地提高了对超痕量元素的检测灵敏度。这使得超痕量元素成像成为可能。此外,不需要在整个光束电流范围内更换物镜孔径,因此分析过程可以完全自动化,无需担心轴偏移。这三幅图像显示了一种近似的地图分析的结果。1%的硅在不锈钢中,使用不同的束电流。随着光束电流的增加,粗糙度减小,使含硅区域得以精确识别。

  • 在所有测量中,加速电压为10kV,采样间隔为50毫秒。
    测量需要约。1小时。

可以安装多达五种高性能4英寸X射线光谱仪

维持52.5°X射线起飞角,这是分析性能的基础。

x射线起飞角

低x射线吸收引起的高灵敏度

x射线起飞角

当分析用于实施例的孔的底部或孔中的异物的底部时,高X射​​线起飞角也降低了吸收效果。

在坑中的异物分析数据

坑内异物分析数据。左下为铁(Fe)的分布;右下为钛(Ti)的分布。EPMA-8050G采用的高起飞角度确保了对粗糙样品的高精度分析。

Johanson型分析晶体元件

约翰森型分析晶体实现了完美的收敛。

欧宝娱乐去哪里下载Shimadzu通过公司的悠久传统应用了其独特的水晶制造专业知识,以提供分析晶体,可提供高灵敏度和高分辨率。Johanson型分析晶体达到完美的收敛,没有像差。

最多可容纳五个4英寸光谱仪

EPMA-8050G最多可容纳五个4英寸光谱仪,可提供高灵敏度和高分辨率。

罗兰圆半径是影响EPMA分析性能的一个重要因素。罗兰圆半径每增加一英寸,检测灵敏度降低30%以上。欧宝娱乐去哪里下载岛津EPMA仪器可容纳多达5个4英寸光谱仪,覆盖整个光谱范围。

所有分析的简单易懂的操作

该系统配备了许多新功能,可实现简单且易于理解的操作。这些包括先进的操作性能,所有操作都使用仅使用鼠标控制,以及设计易于理解的用户界面,以及内置简单的模式分析。虽然甚至可以使用甚至是新手使用,但它还支持经验丰富的用户进行复杂的分析。OB欧宝2021足球欧洲杯买球平台

  • 从样本安装到报告生成的所有内容都可以轻松操作
  • 即使是新手也可以轻松地从样品搜索到SEM成像。
  • 空前的可操作性极大地提高了分析开始前的操作效率。
  • 在视觉上,用户界面旨在易于理解。
  • 配备了一个简单的模式分析,可自动化所有进程到生成报告。

软件屏幕

先进技术,实现微小敏感性分析分钟

先进的技术

1.高亮度肖特基发射器

为FE电子枪采用高输出肖特基发射器,其具有比SEM在SEM中的通常用于SEM。获得稳定的电子束,虽然亮具有大电流对于高灵敏度分析。

2.特殊EPMA电子光学系统

电子光学系统具有专有的配置和控制方法(日本专利No.4595778)。冷凝器透镜将尽可能接近电子枪。交叉形成没有用冷凝器透镜,而是用虹膜透镜形成,物镜孔布置在相同位置。虽然这是一个简单的镜头配置,但可以获得大电流。同时,可以在所有电流条件下最佳地配置角孔,最小化电子束直径。当然,无需更换目标孔径。

3.超高真空抽真空系统

已经采用了两级差分疏散系统,在电子枪室,中间室和分析室之间的孔中划分。最小化中间室和分析室之间的孔将气体流到中间室限制。电子枪室始终保持在超高真空水平,稳定发射器操作。

4.高灵敏度x射线光谱仪

该系统可配备多达5个4英寸x射线光谱仪,提供高灵敏度和高分辨率。
52.5°x射线起飞角度提高了x射线信号的空间分辨率,同时使样品在最小x射线吸收的情况下进行高灵敏度分析。

仅供研究用途。不用于诊断程序。

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